片面高速ラッピングマシーン/STC-610

片面高速ラッピングマシーン
STC-610

  • LEDサファイア、SiCウエハ用に新開発した2軸の高速ラッピングマシーン
  • 自動で定盤の溝切り、フェーシングが可能

片面高速ラッピングマシーンSTC-610は、φ610のラップ定盤が最高300rpm回転し、φ250㎜までのワークプレートの使用が可能です。2本の加工軸を備え、最大300kgの研磨加圧をかけることが出来ます。自動溝切り・フェーシング機構、エアーシリンダー加圧機構、バキュームチャック機構、定盤回転数の自動切換え装置、冷却装置などSW-08と同じくご使用される状況を想定した各種機能を装備しております。

STC-610イメージ

■ 特長

高速回転機構
Ф610mmの研磨定盤が最高300rpm回転し、高速研磨を実現しました。

STC-610イメージ

加工軸受け機構
強制駆動回転機構が装備された2本の加工軸受けを装着。高い研磨加圧の条件下でも安定した回転で研磨ができます。

STC-610イメージ

エアーシリンダー加圧機構
最大300Kgの研磨加圧をかけることができ、高い研磨レートを得ることができます。また従来使われているウエイト荷重ではないので、ワークの脱着もワンタッチで行えます。
バキュームチャック機構
ワークをマウントしたプレートは加工軸受けに装着したバキュームチャックで保持されます。高速回転にも安全に安定した研磨加工ができるプレート保持方式です。
回転変速機構
研磨定盤、加工軸受け共に、滑らかに任意の回転数まで変速することができます。
定盤の自動切り替え機構
低速回転から高速回転、高速回転から低速回転を任意に設定でき、その切り替えも自動で行われます。またこの時、加圧も自動で可変できます。
フェーシング機構
研磨定盤の溝切り、フェーシング加工を自動で行うことができ、作業の省力化が可能になりました。
冷却装置
研磨定盤をマウントするフランジを効率良く冷却し精度を保ちます。
操作パネル
タッチパネルに各種プログラムを入力できます。操作はとても簡単です。
研磨定盤
優れた面粗さが得られる錫定盤を標準仕様にしています。

研磨装置一覧

Loading...