横型平面研削機/SGM-7000A

横型平面研削機
SGM-7000A

  • 割れやすい基盤に最適
  • サファイア、GaN、GaAs、Sic、シリコンウエハーのダメージの少ないバックグライディングを実現

SGM-7000の性能をそのまま受継ぎ、更に、自動計測システムが装備されています。加工中にワークの厚みを自動計測し、そのデータを基に残りの研削量を装置自身が計算し、再度研削します。オペレーターの手を介することなく、フルオートで研削が終了します。

SGM-7000Aイメージ

SGM-7000Aイメージ

■ 特長

新揺動機構
ワークを保持するバキュームチャックを装着した軸受けが定盤とチャック面が平行になる様に調整できる機構です。定盤平坦度を狂わすワークの自由度が無いため、円周上平坦度管理が非常に簡単になりました。

SGM-7000Aイメージ

自動計測システム
加工中にワークの厚みを自動計測し、そのデータを元に残りの研削量を装置自身が計算し、再度研削します。オペレーターの手を介することなく、フルオートで研削が終了します。
間欠送りシステム
送りとインターバルを繰り返しながら研削を行います。インターバルの間、切り粉の排除やダイヤ砥石の冷却、研削ストレスの軽減等の作用がありワークに対して優しい研削ができます。
オーバーロード感知システム
一定以上の負荷がかかると送りがバックし、砥石とワークのストレスを一旦開放した後、再度送りがスタートします。このシステムでワークに強いストレスがかかるのを防ぎ、ダメージの少ない研削が可能になりました。
ゼロタッチシステム
砥石とワークが接触した位置を装置が感知し、自動で原点位置を設定することができます。

研削装置一覧

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