2021.09.01

マクロ欠陥検査装置「Z-nanoED」をアップしました!/
Update about Macro defects inspection system "Z-nano ED"


見えなかった欠陥を可視化!今まで捉えられなかった各種半導体ウェーハの欠陥を
広視野にて可視化する検査装置です。

・"Z-nano ED" of macro inspection system can visualize various defects that were previously invisible.
・Visual observation in wide area.


Z-nanoED2-2.jpg